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表面轮廓仪的三类校准方式探讨

发表时间:2020-10-21  |  点击率:159
   光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
  为能准确地表征表面形貌,光学轮廓仪需要进行一系列校准标定流程:
  1.3D(三维)形貌校准
  这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
  2.2D(二维)光强校准
  这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。轮廓仪有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;真彩模式可以复现表面彩色信息。
  由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为二维光强校准。
  3.横向校准
  这一校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
  光学轮廓仪的很多测试结果和分析设置,如沟槽宽度,孔径尺寸,坡度斜率,空间滤波,拼接测量,都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析,横向尺寸的标定是至关重要的。
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