表面轮廓仪采用触针与被测样品直接接触的方式来测定表面轮廓，获得表面轮廓曲线，能够测量台阶高度、宽度、样品表面粗糙度及相关参数，并能进行应力测量。测量力500μN范围内可自由设定，系统自动水平补正，适用于半导体、微机电、材料、物理等领域的研究。
表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。
表面轮廓仪产品功能：
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
表面轮廓仪采用的是非接触式测量技术，具有亚纳米测量精度（所有放大倍数下），可以更快更好地测量各种样品表面，是一款具有非常高投资回报率的产品。满足各种应用需求，包括平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度，适用于几乎任何材质表面。
