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尼康高分辨率白光干涉仪BW-500系列

更新时间:2019-07-16
产品型号:
描述:尼康高分辨率白光干涉仪$n尼康白光干涉扫描测量技术可以实现1pm超高纵向分辨率$n采用单一测量模式快速,准确的滍从亚纳米到毫米的高度形貌。$n可以充分地支持高精度加工表面和材料科学领域的先进材料的发展$n通过使用双光束干涉物镜实现高精度/高速的获取高度$n高精度和测量重复性,BW-S500/BW-D500系列可以使用8nm或者8μm的由美国NIST(美国标准技术研究所)认证的VLSI台阶标准样进行校准和标定
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